Čista soba za mikroelektroniku posebno je proizvodno okruženje koje osigurava kvalitetu proizvoda i učinkovitost u industriji mikroelektronike. Za ovaj projekt uzimaju se u obzir mnogi čimbenici kao što su pročišćavanje zraka, temperatura, vlažnost, elektrostatika, kontrola buke i tako dalje.
Različite klase industrija primjene mikroelektronike u čistim sobama:
1.Proizvodnja integriranih sklopova
- ISO 1 - 3: često se koristi u najnaprednijim procesima fotojetkanja, jetkanja i drugih, koji zahtijevaju izuzetno visoku kontrolu sitnih čestica, a mala kontaminacija može dovesti do oštećenja čipa.
- ISO 4 - 5: Prikladno za taloženje tankog filma, ionsku implantaciju i druge procese u proizvodnji čipova, a također ima stroge zahtjeve za kontrolu čestica.
2.Ispitivanje inkapsulacije poluvodiča
- ISO 6 - 7: Može zadovoljiti zahtjeve većine veza za testiranje pakiranja, kao što je pakiranje čipova, funkcionalno ispitivanje itd.
3. Proizvodnja panel displeja
- ISO 5 - 6: Koristi se za premazivanje i izlaganje u proizvodnji LCD panela.
4. Proizvodnja elektroničkih komponenti
- ISO 7 - 8: koristi se za proizvodnju elektroničkih komponenti s relativno niskim ekološkim zahtjevima, kao što su otpornici, kondenzatori itd.
Ukratko, što je viša klasa čiste sobe, manji je broj suspendiranih čestica u zraku koji se može kontrolirati, to je okoliš čišći i prikladniji za mikroelektroničke proizvodne procese koji zahtijevaju izuzetno stroga proizvodna okruženja. Međutim, čista soba niže klase prikladna je za proizvodne procese koji zahtijevaju relativno labavo okruženje.
Glavni uređaji sustava za pročišćavanje zraka mikroelektroničke čiste sobe:
1. Filtar zraka
- Filter primarne učinkovitosti: uglavnom se koristi za filtriranje većih čestica, kao što su prašina, kosa itd., kako bi igrao preliminarnu ulogu u pročišćavanju zraka.
- Filtri srednje učinkovitosti: filtriraju čestice srednje veličine i dodatno poboljšavaju čistoću zraka.
- HEPA filter: ključni uređaj za postizanje visoke čistoće s visokom učinkovitošću filtriranja za čestice veće od 0.3 mikrona
- Filter ultra visoke učinkovitosti (ULPA filtar): za čestice 0.1 - 0.3 mikrona njegova učinkovitost filtracije može biti iznad 99,999%, a često se koristi na mjestima s iznimno visokim zahtjevima za čistoćom.
2.Ventilator
- Odgovoran za pokretanje protoka zraka, čineći da zrak prolazi kroz filter i cirkulira u čistoj prostoriji.
3. Kanal
-koristi se za prijenos filtriranog zraka kako bi se osigurala ravnomjerna distribucija zraka u svim područjima čiste sobe.
4. Jedinica za obradu svježeg zraka
- uvedite svježi zrak van, filtrirajte ga i prilagodite temperaturu i vlažnost prema potrebama čiste sobe.
5. Jedinica za pročišćavanje zraka
-integrirati različite funkcije pročišćavanja i kondicioniranja, kao što su filtracija, sterilizacija, odvlaživanje, ovlaživanje i tako dalje.
6. Komora statičkog tlaka
-stabilizira protok zraka, smanjuje turbulenciju i buku protoka zraka te osigurava ravnomjeran protok zraka kroz filtre.
7. Prigušivač
- Smanjite buku koju stvaraju ventilatori i protok zraka, pružajući tiho radno okruženje
8. Senzori i regulatori diferencijalnog tlaka
- Pratite razliku tlaka između različitih područja čiste sobe kako biste osigurali strujanje zraka u unaprijed određenom smjeru kako biste spriječili unakrsnu kontaminaciju zagađivača.
Ovi uređaji rade zajedno kako bi osigurali da kvaliteta zraka mikroelektroničke čiste sobe dosegne potrebnu klasu čistoće.
Ključni koraci i tehničke točke mikroelektroničkog inženjeringa čistih soba:
1. Planiranje dizajna: u skladu s proizvodnim procesom i zahtjevima, odredite klasu čistih prostorija, područje, raspored itd. U isto vrijeme, ruta protoka osoblja, materijala i opreme, kao i dizajn pročišćavanja zraka, klimatizacije i treba uzeti u obzir sustave rasvjete.
2. Struktura zgrade: trebala bi imati dobro brtvljenje i toplinsku izolaciju kako bi se smanjio utjecaj vanjskog okruženja na unutrašnjost. Istodobno, potrebno je koristiti materijale koji ne stvaraju lako prašinu i statički elektricitet, kao što su nehrđajući čelik i aluminijske legure.
3. Sustav za pročišćavanje zraka: to je ključni dio mikroelektroničkog inženjeringa čistih soba. Obično se visokoučinkoviti filtri, ventilatori, zračni kanali i drugi uređaji koriste za uklanjanje prašine, bakterija, virusa i drugih zagađivača u unutarnjem zraku, tako da zrak dostigne određenu razinu čistoće.
4. Sustav klimatizacije: mora moći kontrolirati unutarnju temperaturu, vlažnost i razliku tlaka kako bi zadovoljio zahtjeve proizvodnog procesa. U isto vrijeme treba usvojiti opremu i tehnologiju za klimatizaciju koja štedi energiju i koja je prihvatljiva za okoliš kako bi se smanjili operativni troškovi.
5. Elektrostatička kontrola: proces proizvodnje mikroelektronike sklon je stvaranju statičkog elektriciteta koji će utjecati na kvalitetu proizvoda. Stoga je potrebno poduzeti mjere za uklanjanje statičkog elektriciteta, kao što je korištenje eliminatora statičkog elektriciteta, postavljanje antistatičkih podova itd.
6. Kontrola buke: Buka bi utjecala na radnu učinkovitost i zdravlje osoblja, stoga je potrebno poduzeti mjere kontrole buke, kao što je upotreba materijala za zvučnu izolaciju, ugradnja prigušivača itd.
7. Sustav rasvjete: trebao bi biti u stanju osigurati dovoljnu svjetlinu i ujednačenost kako bi zadovoljio zahtjeve proizvodnog procesa. U isto vrijeme treba usvojiti opremu i tehnologije za rasvjetu koja štedi energiju i koja je ekološki prihvatljiva kako bi se smanjili operativni troškovi.
8. Upravljanje osobljem i materijalima: ulazak i izlazak osoblja i materijala mora biti strogo upravljan i kontroliran kako bi se smanjilo unošenje vanjskih zagađivača. U isto vrijeme, osoblje treba biti obučeno kako bi poboljšalo svoju svijest o čistoći i operativne vještine.
9. Ispitivanje i provjera: nakon što je čista soba izgrađena, potrebno je provesti ispitivanje i provjeru kako bi se osiguralo da izvedba čiste sobe zadovoljava projektne zahtjeve, što uključuje čistoću zraka, temperaturu, vlažnost, razliku tlaka, statički elektricitet itd.
Zaključno, mikroelektronički inženjering čistih soba složen je sustav koji zahtijeva više čimbenika. Samo usvajanjem napredne tehnologije i opreme može se izgraditi čista soba koja ispunjava zahtjeve.
Popularni tagovi: mikroelektronička čista soba, Kina mikroelektronička čista soba dobavljači, proizvođači, tvornica, kante za čiste sobe, ormarići za čiste sobe, Stropovi čiste sobe, čiste kapuljače, čisto institucionalno okruženje, Čisto testiranje čistih soba
